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第五代新型材料--金剛石薄膜材料 金剛石薄膜因其優(yōu)異的機(jī)械性能、熱學(xué)性能、光學(xué)特能、半導(dǎo)體性能以及高彈性模量特性被應(yīng)用于機(jī)械、輕工、電子以及聲光學(xué)等領(lǐng)域中。 金剛石薄膜制備方法分為熱絲法、燃燒火焰沉積法、直流電弧等離子噴射法、微波等離子體法、激光輔助法等。目前,金剛石薄膜的應(yīng)用主要集中在工具涂層領(lǐng)域、聲光學(xué)領(lǐng)域、電子學(xué)領(lǐng)域、探測(cè)器和傳感器領(lǐng)域。 在工具涂層領(lǐng)域,利用金剛石薄膜的高硬度、耐磨損、低摩擦系數(shù)的特點(diǎn),將1-2µm厚的金剛石薄膜鍍?cè)诘毒弑砻婵墒沟毒叩氖褂脡勖岣?-50倍,并可使刀具的加工效率顯著提高。在聲光學(xué)領(lǐng)域利用金剛石薄膜高彈性模量的特性可實(shí)現(xiàn)聲波的高保真?zhèn)鬏?,是制作高檔音響的最佳材料:采用鍍金剛石薄膜的鈦復(fù)合振膜的頻響上限可從20KHz提高到30KHz,揚(yáng)聲器的電聲性能顯著提高,增強(qiáng)了音響保真效果。在電子學(xué)領(lǐng)域利用硼、磷元素對(duì)金剛石摻雜可制作金剛石半導(dǎo)體材料,利用金剛石半導(dǎo)體材料的寬禁帶、高擊穿電場(chǎng)、低介電常數(shù)、高載流子遷移速率可制作出具有優(yōu)異整流特性的半導(dǎo)體器件。在探測(cè)器領(lǐng)域,從脈沖輻射角度看,金剛石膜是制作高緊密探測(cè)器的最佳材料,用其制作的探測(cè)器具有漏電流小、靈敏度高、響應(yīng)快的特點(diǎn),并且性能穩(wěn)定,可探測(cè)紫外光、X射線、ɑ粒子。另外摻雜后的金剛石薄膜具有高彈性模量,是制備耐高溫、惡劣條件下工作壓力傳感器的最佳材料。目前許多國(guó)家都在研究,美、日等國(guó)的相關(guān)研究已獲成功。 金剛石薄膜材料被譽(yù)為是繼石器時(shí)代、青銅器時(shí)代、鋼鐵時(shí)代、硅材料時(shí)代以來的第五代新材料,隨著金剛石薄膜材料制作技術(shù)的不斷成熟,以及對(duì)半導(dǎo)體器件、高端電子器件、精密探測(cè)設(shè)備和傳感設(shè)備需求量及品質(zhì)要求的不斷提高,金剛石薄膜將成為重要的新型材料,它的大規(guī)模使用將給半導(dǎo)體、電子學(xué)領(lǐng)域和精密探測(cè)領(lǐng)域帶來一場(chǎng)轟轟烈烈的技術(shù)革命。 |
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